クリーンウェハ(経過品、ダミー、テスト、モニター)
ウェハ一般規格 |
2インチ |
3インチ |
4インチ |
5インチ |
6インチ |
8インチ |
12インチ |
直径(mm) |
JEIDA |
50.0±0.5 |
76.0±0.5 |
100.0±0.5 |
125.0±0.5 |
150.0±0.5 |
200.0±0.2 |
300.0±0.2 |
SEMI |
50.8±0.38 |
76.2±0.63 |
厚み(μm) |
JEIDA |
280±25 |
380±25 |
525±25 |
525/625±25 |
625±25 |
725±25 |
775±25 |
SEMI |
675±25μm |
OF長さ(cm)/Vnotch |
JEIDA |
17.5±2.5mm |
22.0±2.5 |
32.5±2.5 |
42.5±2.5 |
47.5±2.5 |
57.5±2.5/V Notch |
V Notch |
SEMI |
15.88±2.5mm |
22.22±2.5 |
57.5±2.5 |
抵抗値 |
≦0.05Ω/≧1Ω/1~100Ω/≧1000Ω |
グレード |
ダミー/テスト/モニター |
その他仕様 |
厚み/面状態/製造方法/導電型/抵抗率/結晶方位/ノッチ方位/パーティークル/金属汚染/TTV/BOW/WARP |
コインロールウェハ
ウェハ一般規格 |
2インチ |
3インチ |
4インチ |
5インチ |
6インチ |
8インチ |
12インチ |
直径(mm) |
JEIDA |
50.0±0.5 |
76.0±0.5 |
100.0±0.5 |
125.0±0.5 |
150.0±0.5 |
200.0±0.2 |
300.0±0.2 |
SEMI |
50.8±0.38 |
76.2±0.63 |
厚み(μm) |
JEIDA |
280±25 |
380±25 |
525±25 |
525/625±25 |
625±25 |
725±25 |
775±25 |
SEMI |
675±25μm |
OF長さ(cm)/Vnotch |
JEIDA |
17.5±2.5mm |
22.0±2.5 |
32.5±2.5 |
42.5±2.5 |
47.5±2.5 |
57.5±2.5/V Notch |
V Notch |
SEMI |
15.88±2.5mm |
22.22±2.5 |
57.5±2.5 |
抵抗値 |
≦0.05Ω/≧1Ω/1~100Ω/≧1000Ω |
面状態 |
MP/ET |
MP/MP |
グレード |
コインロール |
その他仕様 |
厚み/抵抗値/面状態/導電型/結晶方位/ノッチ方位 |
その他
化合物ウェハ(SIC、GaN、SOI etc...)、膜付きウェハ、パターンウェハ、ケース
※その他希望の厚み、レーザーマーク有無、導電型、ドーパント、結晶方位、面状態、金属汚染等、膜種、膜厚みなどございましたらお気軽にお問い合わせください。
弊社では、丁寧なヒアリングを行いお客様にあった最適なウェハをご提案させていただきます。カセットケース入り、コインロールケース入りなどご希望に合わせた形態でご案内可能です。タイプや厚みをなど不問の場合は価格を抑えたウェハの販売も可能です。